소개 : MEMS에서 표면 처리의 중요한 역할

MEMS (Microelectromechanical Systems)는 의료, 자동차 및 소비자 전자 제품과 같은 산업에 혁명을 일으켰습니다. 이 작은 장치는 표면 처리가 성능, 내구성 및 신뢰성을 향상시키는 데 중요한 역할을하는 정밀 공학에 의존합니다. 전도도 개선에서 마모 및 부식 감소에 이르기까지 MEMS 제조에는 고급 정밀 표면 처리 솔루션이 필수적입니다.

이 기사에서는 MEMS 산업을위한 최고의 정밀 표면 처리 기술, 그 이점 및 소기업 기술의 발전에 어떻게 기여하는지 탐구합니다.

1. MEM에 표면 처리가 필수적인 이유

MEMS 구성 요소는 마이크로 및 나노 스케일에서 작동하므로 마찰, 오염 및 산화와 같은 환경 적 요인에 매우 민감합니다. 표면 처리가 도움이됩니다.
✅전기 성능 향상- 전도도 향상 및 저항 감소.
✅부식 저항 증가- 산화 및 분해로부터 섬세한 MEMS 구조를 보호합니다.
✅마찰 및 마모 감소- 움직이는 부품의 원활한 작동 보장.
✅생체 적합성 향상- 바이오 센서 및 임플란트와 같은 의료 응용 프로그램에 필수적입니다.

2. MEMS 용 최상 표면 처리 솔루션

다른 MEMS 응용 프로그램에는 특수한 표면 처리가 필요합니다. 오늘날 가장 효과적인 기술은 다음과 같습니다.

2.1. 혈장 치료

혈장 표면 변형은 MEMS 표면을 청소하고 활성화하는 데 널리 사용되어 코팅 및 결합 공정의 접착력을 향상시킵니다. 깨지기 쉬운 성분을 손상시키지 않고 원자 수준에서 오염 물질을 제거합니다.

sevel 이상 : 센서 코팅, 미세 유체 및 생물 의학 MEM.

2.2. 원자 층 증착 (ALD)

ALD는 정확한 두께 제어 기능을 갖춘 초박형 균일 한 코팅을 제공합니다. 이 방법은 다음에 사용됩니다.

• 유전체 층반도체 mems.
• 항-대안 코팅MEMS 센서의 경우.
• 소수성 층수분 손상을 방지합니다.

hevin 이상 : 자동차 및 항공 우주 응용 프로그램과 같은 가혹한 환경에서 사용되는 MEM.

2.3. 전기 도금 및 전기 도금

금, 니켈 및 구리 전기 도금은 MEMS 성분의 전기 및 기계적 특성을 향상시킵니다. 전기 도금은 직접적인 전기 접촉이 필요없이 균일 한 커버리지를 제공하므로 복잡한 미세 구조에 이상적입니다.

이상적 : MEMS 스위치, RF 구성 요소 및 마이크로 전극.

2.4. Parylene 코팅

Parylene은 대량을 첨가하지 않고 탁월한 수분 및 화학적 저항을 제공하는 생체 적합성 핀홀 프리 폴리머 코팅입니다.

hide 이상 : 의료 mems, 바이오 센서 및 이식 가능한 장치.

2.5. 화학 기상 증착 (CVD) 및 물리 증기 증착 (PVD)

두 방법 모두 초박형 고급 코팅을 적용하여 내마모성 및 열 안정성을 향상시킵니다. CVD는 실리콘 기반 MEM에 널리 사용되는 반면 PVD는 내구성있는 금속 및 세라믹 코팅을 제공합니다.

Airthe 이상 : 광학 MEM, 가속도계 및 자이로 스코프.

3. MEMS 응용 프로그램에 대한 올바른 표면 처리 선택

올바른 표면 처리를 선택하는 것은 다음과 같은 주요 요소에 따라 다릅니다.
🔹재료 구성-실리콘, 금속 또는 중합체 기반 MEM은 다른 처리가 필요합니다.
🔹운영 환경- 가혹한 조건 (예 : 높은 습도 또는 극한 온도)에는 추가 보호가 필요합니다.
🔹응용 프로그램 요구 사항- 전기, 기계적 또는 생물 의학적 성능 요구.

표면 처리의 조합은 종종 MEMS 장치에서 최적의 성능과 수명을 달성하는 데 사용됩니다.

4. MEMS 표면 처리의 미래 추세

MEMS 기술이 발전함에 따라 표면 처리 방법도 마찬가지입니다. 신흥 트렌드는 다음과 같습니다.
🚀나노 코팅-성능 향상을위한 초박형 기능 코팅.
🚀자체 청소 및 기름 방지 표면- 의료 및 산업 MEM의 오염 감소.
🚀녹색 코팅 기술-전통적인 도금 과정에 대한 친환경 대안.

소형화 및 고성능 마이크로 디바이스에 대한 수요가 증가함에 따라 정밀 표면 처리는 MEMS 혁신에서 계속 중요한 역할을 할 것입니다.

결론 : 고급 표면 처리와의 신뢰성 보장

정밀 표면 처리는 MEMS 제조의 게임 체인저로서 우수한 성능, 내구성 및 기능을 보장합니다. 그럴든더 나은 접착력을위한 혈장 처리, 정확한 코팅 용 ALD, 또는생체 적합성을위한 Parylene, 올바른 솔루션을 선택하는 것은 성공에 중요합니다.

MEMS 애플리케이션이 산업별로 확장됨에 따라 투자최첨단 표면 처리 솔루션마이크로 스케일 기술에서 미래의 획기적인 획기적인 발전을 이끌 것입니다.

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